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MEMS&传感器的工艺解决方案

MEMS 技术使得新一代的可以在运动传感和医疗诊断等领域进行高效测量。微米/纳米机电系统(M/NEMS) 和传感器已经可以很好的与其它诸多器件相融合,使其广泛地用于大众消费和商业产品之中。这包括智能手机、汽车、游戏机、导航辅助设备、无人机和生物医学设备。随着物联网 (IoT) 的日益成熟, 对其器件性能的要求也将随之提升。

MEMS 技术

随着对节能、小型化和低成本设备的需求不断增加,对所有制造要求的通盘考虑是至关重要的。牛津仪器提供了一系列灵活设备和工艺解决方案来应对这些挑战,包括 ICP, PECVD, ALD, 纳米尺度生长 以及 离子束刻蚀 和 沉积

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