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气体舱
更灵活的气体舱升级
牛津仪器的气体舱可用于集成更多气体管道，方便用户根据应用需要变化适时添加气体管道，从而提供极大的灵活性。
优势
可容纳有毒和无毒气体
适用于所有牛津仪器的PlasmaPro系统（Ionfab工具升级需单独审计资格）
可容纳多达12条气体管道（具体取决于气体舱的配置）
安装快捷简便
可安装最新版本的质量流量控制器（MFC）
灵活性更好，使得每个处理室可使用更多不同类型的工艺
行业标准的MFC安装方式，即支持来自不同制造商的MFC
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