关于PTIQ

什么时候可获取该软件？

PTIQ 现已上市。

自 2020 年 2 月以来，我们的设备已开始更换成PTIQ系统，并将与其一同出厂。 目前，大约 75% 的产品线正在使用 PTIQ，这意味着 PlasmaPro 100、80 和 800 目前已配置新软件，新的ATOMFAB 系统也配置了PTIQ。在今年年底之前，它也将在我们的 Ionfab、Estrelas 和 Polaris 系统上线。

如果我有一台刻蚀和一台沉积系统，它们能使用相同的软件并以相同的方式运行吗？

是的。新软件的一个重要目标就是提供一致的外观和用户体验，并找到运行所有系统所需的通用操作。

不过，也存在一些显著差异，但它们与所涉及的特定技术有关。 这意味着，无论模块存在于同一集群系统中还是作为两个单独的模块并排使用，其软件都完全一样。

是否适用于集群系统？

PTIQ 支持我们的三种产品系列：开放式装载、单模块和集群系统。 这三种类型的系统都具有相同的外观和用户体验，并且以类似的方式运行。

PTIQ 是否兼容触摸屏？

我们设计的软件可通过触摸屏来控制，确保24寸触摸屏的活动区域至少有1cm2。虽然SEMI E95标准已不再有效，但它仍然有利于半导体主要设备的触摸屏操作界面。

PTIQ 是否兼容多显示器？

这在我们的短期规划框架中。最初我们就是在双显示器基础上构建这一软件。但目前尚未在软件中激活此功能，因为这需要更多的工作才能完成。

工艺参数（比如RF）可以通过循环操作将其从初始值到结束值进行分级设置吗？

此功能正在开发中，以应对我们正努力提供的更先进的深硅刻蚀工艺。它将在发布时对所有工艺模块可用，而不仅仅是Estrelas工具。

您有此软件的模拟器吗？可以安装在我们的个人计算机中进行测试或培训。

我们有一个模拟器，可用于此目的。比如，它可以很好地模拟硬件，包括一些简单的算法来模拟压力控制中涉及的物理。