专为HBLED制造业而研发的生产工艺和设备可提供优异的单一晶圆和批量晶圆的加工能力。 仪器为高亮度LED生产所提供的配套工艺解决方案，实现了在生产过程中关键工艺上产能的更大化。我们为HBLED制造业提供等离子刻蚀和PECVD设备的经验超过17年，深知如何满足顾客在投入成本和设备性能上的期望。