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随着垂直腔面发射激光器 (VCSEL) 出货量的增加，牛津仪器等离子体技术公司帮助客户提高产量，降低制造成本。
我们的系统久经考验，正常运行时间超过90%，并保证在安装期间快速启动的工艺。
垂直腔面发射激光器(VCSEL)是一种适用于体积小、光束稳定性高和功耗低的应用中的首选技术。
我们运用我们的加工知识，实现了设备成本和性能的优化，并最大限度提高了良好芯片的日产量。
VCSEL广泛应用于激光雷达（LiDAR），使自动驾驶汽车能够检测距离和移动。VCSEL的其他应用包括用于面部、物体和手势识别的3D传感，以及生物识别支付等领域。
VCSEL台阶俯视图
VCSEL 台阶俯视图
VCSEL 台阶垂直截面图
高表面质量
简化工艺流程。橙色工艺显示的是牛津仪器公司的技术解决方案。ICP 蚀刻由 Plasmafab Cobra GaAs VCSEL 提供。
终点技术通过运行及监测刻蚀变化以及初始材料目标厚度的变化，实现对目标层刻蚀深度的更严格分布。
我们的PTIQ系统软件旨在为牛津仪器的客户提供卓越的响应式系统控制、可靠性和可重复性。该软件可以优化实验室或工厂的系统和工艺性能，并提供不同级别的软件以满足设备要求。
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可将平台进行群集，结合盒式或单晶圆装载选项，并整合多种技术和工艺，同时提供六角形或方形传送室配置。
牛津仪器致力于提供全面、灵活和可靠的全球客户支持。我们在您系统的整个生命周期内提供优质的服务。
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