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解决方案
激光器应用的工艺解决方案(InP和VCSEL)

激光器正在被用于诸多不同的应用之中, 从激光雷达到更快速的光通信,激光器对于实现许多技术进步至关重要。在用等离子体处理III-V材料方面,例如用于制造固态激光二极管的InP和GaAs / AlGaAs,牛津仪器拥有长期的丰富经验。

可靠的制造 

在诸如3D传感或光互连等新兴应用中,VCSEL的成功源于其器件属性。 从3D传感所需的高功率转换效率到数据通信所需的高稳定性,我们提供制造工艺上的支持,以满足这些性能指标。

VCSEL Process Flow
VCSELs for faster communication

我们有与化合物领域长期密切合作的历史,不仅在激光二极管技术方面拥有超过20年的经验,而且从使用850nm调制器的数据通信的早期,就一直为VCSEL制造商提供服务。

在保证更大产量的前提下,我们的VCSEL解决方案仍能提供出色的光电性能。 凭借我们在等离子体工艺方面的强大专业知识,使得VCSEL制造商能够生产大量高质量的激光器。我们有成熟的并且能够处理200mm 晶圆解决方案。

轻松制造InP激光器

使用InP制造的组件可以在高频下运转从而处理更多的数据量。设计和制造经过优化后, 在较宽的工作温度范围内,InP激光器可提供高光谱质量和高光功率输出。它可以提供1100-2000nm的波长范围为光纤通信所使用。

InP Process Flow
InP lasers for communication

通过为InP激光器的生产而建立的高效率工艺解决方案,我们直接支持了通信技术的发展,从而也支持了不断增长的数据传输需求。

在保证更高成品率与产量的前提下,我们的等离子体刻蚀和沉积的解决方案可提供更大能量的光输出。

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