MEMS 技术使得新一代的可以在运动传感和医疗诊断等领域进行高效测量。微米/纳米机电系统(M/NEMS) 和传感器已经可以很好的与其它诸多器件相融合，使其广泛地用于大众消费和商业产品之中。这包括智能手机、汽车、游戏机、导航辅助设备、无人机和生物医学设备。随着物联网 (IoT) 的日益成熟, 对其器件性能的要求也将随之提升。