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InP基激光器和光电二极管的前端等离子体解决方案

VCSEL Mesa制造的先进终点控制技术

高产量制造GaAs基VCSEL中的Mesa

高功率VCSEL阵列的干法刻蚀

InP激光二极管器件的生产：定义Mesa

InP激光二极管器件的生产：等离子体沉积以实现最佳性能

InP激光二极管器件的生产：DFB光栅刻蚀以实现最佳性能

生命科学和生物医学应用的器件制造：屏障和生物相容性涂层

生命科学和生物医学应用的器件制造：电气、光子和微机电系统（MEMS）器件

生命科学和生物医学应用的器件制造：疏水、亲水和功能性表面的制备

生命科学和生物医学应用的器件制造：微流体组件制造

为电力电子应用中实现可靠的常关型凹栅MISHEMT制造

等离子体抛光：高规格的碳化硅（SiC）表面处理

氮化镓功率电子器件的原子层沉积和原子层刻蚀

用于制造碳化硅功率器件的全球领先等离子体加工解决方案