牛津仪器的ALD系统通过将远程等离子体ALD工艺与热ALD相结合,为纳米结构和器件的工程设计提供了灵活性和可行性。
FlexAL系统可提供远程等离子体原子层沉积(ALD),这为纳米结构和器件的工程设计提供了一系列新的灵活性和可行性。