牛津仪器的ALD系统通过将远程等离子体ALD工艺与热ALD相结合，为纳米结构和器件的工程设计提供了灵活性和可行性。
FlexAL系统可提供远程等离子体原子层沉积（ALD），这为纳米结构和器件的工程设计提供了一系列新的灵活性和可行性。
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