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增强现实（Augmented Reality，简称AR）是一种在真实世界环境之上叠加计算机生成的虚拟图像，实现用户可视化并与其进行交互的技术。
与混合现实（MR）一样，AR需要一个光学合成器，允许人眼被投射虚拟图像的同时可以看到真实世界。AR在B2B市场中具有诸多应用场景，如制造、培训、安全和外科手术等。
针对消费者的应用程序也有很多，比如游戏、购物或导航。在不久的将来，AR技术势必会大受欢迎。许多产品已经证明了AR的潜力，其中包括微软的Hololens和Magic Leap的Magic Leap One等成熟产品。
下载产品手册为了获得最佳的光学性能，基于波导的光学合成器在制备过程中必须严格控制公差。在制备光耦合器的表面浮雕光栅母模时，要求对光阑、光栅的角度和深度进行良好的工艺控制。这可以通过掩膜的干法刻蚀和倾斜光栅刻蚀工艺来实现。
尽管很多技术都被认为能够提供真正的沉浸式AR体验，但由于波导方案所具备的高视场优势，而受到了Microsoft Hololens和Vuzix等主要厂商的青睐。
牛津仪器在刻蚀大面积倾斜结构方面拥有多年的专业知识。我们的解决方案旨在提供表面浮雕光栅所需的制造质量，在一定范围的光栅倾斜角下支持制造商实现最佳光学效率。我们在开发倾斜光栅解决方案方面拥有多年的专业知识，可在尺寸高达200mm的晶圆上提供市场先进的刻蚀均匀性。
借助ICP刻蚀，RIE和离子束刻蚀技术，我们的先进等离子体工艺解决方案可以处理高达200mm的晶圆，以大批量生产AR设备。针对IBE的Ionfab系统，已被配置为可在200mm晶圆上实现出色的刻蚀均匀性。我们的专有离子束技术和网格设计，使我们能够以极佳的精度生产标准45°倾斜光栅，且加工能力涵盖各种材料，例如Si和SiO2。
群集式系统可供客户选择。此系统利用高度可靠并经实际验证的真空传送机械臂，将掩膜刻蚀和AR涂层沉积这两大工艺模块整合起来。
全球售后支持，包括保修和支持协议，确保设备实现高运行时间。我们的团队可以通过面对面或远程方式，在全球范围内为客户提供24小时/7天的全天候服务。我们在战略位置提供全球备件，以便实现快速响应。欲了解更多信息，请查看我们全面的全球服务和支持选项。
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