AR工艺解决方案 - 牛津仪器

什么是增强现实（AR）?

增强现实（Augmented Reality，简称AR）是一种在真实世界环境之上叠加计算机生成的虚拟图像，实现用户可视化并与其进行交互的技术。

与混合现实（MR）一样，AR需要一个光学合成器，允许人眼被投射虚拟图像的同时可以看到真实世界。AR在B2B市场中具有诸多应用场景，如制造、培训、安全和外科手术等。

针对消费者的应用程序也有很多，比如游戏、购物或导航。在不久的将来，AR技术势必会大受欢迎。许多产品已经证明了AR的潜力，其中包括微软的Hololens和Magic Leap的Magic Leap One等成熟产品。

为了获得最佳的光学性能，基于波导的光学合成器在制备过程中必须严格控制公差。在制备光耦合器的表面浮雕光栅母模时，要求对光阑、光栅的角度和深度进行良好的工艺控制。这可以通过掩膜的干法刻蚀和倾斜光栅刻蚀工艺来实现。

尽管很多技术都被认为能够提供真正的沉浸式AR体验，但由于波导方案所具备的高视场优势，而受到了Microsoft Hololens和Vuzix等主要厂商的青睐。

牛津仪器在刻蚀大面积倾斜结构方面拥有多年的专业知识。我们的解决方案旨在提供表面浮雕光栅所需的制造质量，在一定范围的光栅倾斜角下支持制造商实现最佳光学效率。我们在开发倾斜光栅解决方案方面拥有多年的专业知识，可在尺寸高达200mm的晶圆上提供市场先进的刻蚀均匀性。