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我们的机台升级组合提供了一系列的功能和好处，旨在优化或增强您的系统的功能，管理过时零配件，并节省资金和其他成本。
升级可以提高生产力，降低所有权和维护成本，并增强系统自动化和控制。点击这里了解更多升级为您设备带来的好处。
| PlasmaPro系统 | 离子束 | CVD | ALD | |||
| 80 | 800 | 100 | Ionfab 300 | Nanofab | FlexAL | |
| AE Paramount 射频电源 | ✓ | |||||
| 自动压力控制 | ✓ | |||||
| 条形码阅读器晶片扫描软件 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| Comdel射频电源 | ✓ | ✓ | ✓ | |||
| 双薄膜规切换 | ✓ | ✓ | ||||
| 气体箱 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| Glassman电源 | ✓ | |||||
| 隐藏式HMT RGA | ✓ | |||||
| 整合式气体箱 | ✓ | |||||
| 灯塔 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| LN2自动转换装置 | ✓ | |||||
| 日志查看器软件 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | |
| 光学终点探测器 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | |
| PTIQ软件 | ✓ | ✓ | ✓ | |||
| SECS GEM自动化装置 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| 软抽气 | ✓ | ✓ | ✓ | |||
| TeamViewer 软件 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| TEOS液位感应 | ✓ | ✓ | ||||
| 涡轮分子真空泵 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| 宽温域电极 | ✓ | |||||
| X20控制系统 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | |
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