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升级的优势

我们的升级产品组合提供一系列功能和优势,旨在优化或增强您的系统功能、管理过时风险、节约资金和其他成本。升级可以提高生产率,降低使用成本和维护成本,并增强系统自动化和控制。单击此处了解有关升级优势的更多信息

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PECVD RIE ICP Ion Beam CVD ALD
PlasmaPro 800 PlasmaPro 100  PlasmaPro 80 PlasmaPro 800 PlasmaPro 100 PlasmaPro 80 PlasmaPro 100 Ionfab Nanofab FlexAL
先进能源Paramount发生器
抗污染屏障
自动终点检测系统
自动压力控制
Comdel发生器
双CM表切换
气体舱
集成气体舱
指示灯
LN2自动切换装置
Logviewer软件
OEM过时
PTIQ软件
SECS GEM自动化
软泵
真空电容AMU  ✓
宽温度范围电极
Windows 10升级
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PTIQ是适用于PlasmaPro和Atomfab加工设备的最新智能软件解决方案。

  • 优异的响应式系统控制水平
  • 优化系统和工艺性能
  • 拥有不同级别的软件可满足您的需求
  • 全新直观的布局和设计
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全球客户支持

牛津仪器致力于提供全面、灵活和可靠的全球客户支持。我们将在工具的整个生命周期内提供优质的服务。

  • 远程诊断软件提供快速、简便的故障诊断和解决方案
  • 可根据预算和实际情况签订支持协议
  • 位于战略位置的全球备件库,可实现快速响应
  • 全球服务工程师提供预防性维护服务和支持
  • 可提供各种升级服务,以改进工艺、提高生产率和降低工具使用成本
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