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工艺解决方案
生物医学器件

由于对快速和准确诊断的需求以及对生物医学研究中速度和效率的要求日益增长,全球医疗行业正在见证一场模式变革。随着制造技术的不断进步,了解、发现和治疗疾病的设备不断投入使用,使得诊所内外的医疗保健变得更加经济实惠和有效。

生物医学器件是一类小型化电子设备,由各种部件组装而成,这些部件的制作都具有工艺难度。仪器提供了广泛的工艺解决方案,包括:

微流体

基于MEMS的刻蚀和沉积工艺可用于控制低流量液体。

  • 深硅刻蚀 和 超刻蚀;
  • 玻璃和聚合物刻蚀;
  • (PE) ALD 和 (PE) CVD 涂层;
  • 等离子体键合和预处理;
  • 等离子体表面改性。



Microfluidic components for biomedical applications image

有源器件

用于传感和药物输送的新型电子和光子结构。

  •  ,玻璃,石英和聚合物的刻蚀;
  • (PE) ALD 和 (PE) CVD 涂层;
  • 先进材料,如石墨烯、纳米线和 二维材料 ;
  • 用于DNA测序等应用的和悬臂器件的 刻蚀和沉积 工艺。

密封/生物相容涂层

器件及其环境的保护。

  • 薄膜(PE) ALD 和 (PE) CVD 涂层
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BioMEMS 技术

MEMS在绝大多数情况下以  作为基底,但BioMEMS也可以使用聚合物、玻璃和陶瓷作为基材。生物医学检测和生物相容性的表面改性已成为一门复杂的科学。它们可以在体内或体外使用 (在活体内或外),它们可以是独立的器件, 但通常情况下都是与其它组件相集成来执行一种或多种功能, 它们被称为 “芯片上的实验室”。

Biomedical microfluidic filter SEM silicon etch
Biomedical microfluidic filter SEM silicon etch

利用牛津仪器硅刻蚀工艺解决方案制作的微流体过滤器的SEM图像。

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Biomedical Systems

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