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牛津仪器等离子体技术公司提供专业的刻蚀和沉积工艺解决方案

这些解决方案基于等离子体,离子束,以及原子层沉积与刻蚀的诸多核心技术。其产品范围覆盖了从高产能的集簇式cassette-to-cassette工业化平台专为R&D而设计的紧凑型分立式设备

 

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