PlasmaPro 80 RIE

PlasmaPro 80 with operator

PlasmaPro 80 with operator

Easy open access

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PlasmaPro 80是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究和小批量生产的理想选择。它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高质量的工艺。

直开式设计允许快速装卸晶圆
出色的刻蚀控制和速率测定
出色的晶圆温度均匀性
晶圆最大可达200mm
购置成本低
符合半导体行业 S2 / S8标准

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III-V族材料刻蚀工艺
硅 Bosch和超低温刻蚀工艺
类金刚石（DLC）沉积
二氧化硅和石英刻蚀
用特殊配置的PlasmaPro FA设备进行失效分析的干法刻蚀解剖工艺，可处理封装好的芯片, 裸晶片，以及200mm晶圆
用于高亮度LED生产的硬掩模的刻蚀

RIE of InP waveguide

RIE of InP waveguide

7 μm polyimide feature RIE

7 μm polyimide feature RIE

小型系统 —— 易于安置
优化的电极冷却系统 —— 衬底温度控制
高导通的径向（轴对称）抽气结构 —— 确保能提升工艺均匀性和速率
增加<500毫秒的数据记录功能 —— 可追溯腔室和工艺条件的历史记录
近距离耦合涡轮泵 —— 抽速高迅速达到所要求的低真空度
关键部件容易触及 ——系统维护变得直接简单
X20控制系统——大幅提高了数据信息处理能力，并且可以实现更快更可重复的匹配
通过前端软件进行设备故障诊断 —— 故障诊断速度快
用干涉法进行激光终点监测 —— 在透明材料的反射面上测量刻蚀深度（例如硅上的氧化物），或者用反射法来确定非透明材料（如金属）的边界
用发射光谱（OES）实现较大样品或批量工艺的终点监测 —— 监测刻蚀副产物或反应气体的消耗量的变化，以及用于腔室清洗的终点监测

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全球客户支持

牛津仪器致力于提供全方位、灵活且可靠的全球客户支持服务。我们将为您所拥有的系统在其整个运行周期中持续提供优质的服务。

远程诊断软件提供快速便捷的故障诊断及其解决方案
根据预算和实际需求制定个性化服务支持
在战略位置储备全球备件，以便快速响应

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新增: PTIQ软件

PTIQ是针对PlasmaPro和Ionfab工艺系统而开发的最新智能软件解决方案。

● 对响应系统出色的控制水平

● 最大化系统性能与工艺性能

● 多级别软件配置以匹配用户需求

● 全新的视觉布局与设计界面

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汽车传感器制造光发射装置制造和表征生物微机电制造

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