牛津仪器集团成员
扩展

PlasmaPro 80 PECVD

PlasmaPro 80是一种结构紧凑且使用方便的小型直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置,便于使用,且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸,是研究、原型设计和小批量生产的理想选择。 它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高性能工艺。

  • 直开式设计允许快速装卸晶圆

  • 出色的刻蚀控制和速率测定

  • 出色的晶圆温度均匀性

  • 晶圆最大可达200mm

  • 购置成本低

  • 符合半导体行业 S2 / S8标准


询价 增加到询价列表

  • 高质量PECVD沉积氮化硅二氧化硅,用于光子学、电介质层、钝化以及诸多其它用途
  • 用于高亮度LED生产的硬掩模沉积和刻蚀
  • 小尺寸系统——易于安置
  • 优化了的电极冷却——衬底温度控制
  • 高导通的径向(轴对称)抽气结构—— 确保提升了工艺均匀性和速率
  • 增加了<500毫秒的数据记录功能——可追溯腔室和工艺条件的历史记录
  • 近距离耦合涡轮泵——提供优越的泵送速度加快气体的流动速度
  • 关键部件容易触及——系统维护变得直接简单
  • X20控制系统——大幅提高了数据信息处理能力, 并且可以实现更快更可重复的匹配
  • 通过前端软件进行设备故障诊断——故障诊断速度快
  • 用干涉法进行激光终点监测——在透明材料的反射面上测量刻蚀深度 (例如硅上的氧化物),或者用反射法来确定非透明材料 (如金属) 的边界
  • 用发射光谱(OES)实现较大样品或批量工艺的终点监测—— 监测刻蚀副产物或反应气体的消耗量的变化,以及用于腔室清洗的终点监测
下载产品手册

全球客户支持

牛津仪器致力于提供全方位、灵活且可靠的全球客户支持服务。我们将为您所拥有的系统在其整个运行周期中持续提供优质的服务。

  • 远程诊断软件提供快速便捷的故障诊断及其解决方案
  • 根据预算和实际需求制定个性化服务支持
  • 在战略位置储备全球备件,以便快速响应
了解更多

新增: PTIQ软件

PTIQ是针对PlasmaPro和Ionfab工艺系统而开发的最新智能软件解决方案。

● 对响应系统出色的控制水平

● 最大化系统性能与工艺性能

● 多级别软件配置以匹配用户需求

● 全新的视觉布局与设计界面

了解更多

相关应用

失效分析制造光发射装置制造和表征生物微机电制造
沪ICP备17031777号-1 公安机关备案号31010402003473