PlasmaPro 80 PECVD

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PlasmaPro 80 with operator

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PlasmaPro 80是一种结构紧凑且使用方便的小型直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究、原型设计和小批量生产的理想选择。它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高性能工艺。

直开式设计允许快速装卸晶圆
出色的刻蚀控制和速率测定
出色的晶圆温度均匀性
晶圆最大可达200mm
购置成本低
符合半导体行业 S2 / S8标准

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应用
系统特点

高质量PECVD沉积氮化硅和二氧化硅，用于光子学、电介质层、钝化以及诸多其它用途
用于高亮度LED生产的硬掩模沉积和刻蚀

小尺寸系统——易于安置
优化了的电极冷却——衬底温度控制
高导通的径向（轴对称）抽气结构—— 确保提升了工艺均匀性和速率
增加了<500毫秒的数据记录功能——可追溯腔室和工艺条件的历史记录
近距离耦合涡轮泵——提供优越的泵送速度加快气体的流动速度
关键部件容易触及——系统维护变得直接简单
X20控制系统——大幅提高了数据信息处理能力，并且可以实现更快更可重复的匹配
通过前端软件进行设备故障诊断——故障诊断速度快
用干涉法进行激光终点监测——在透明材料的反射面上测量刻蚀深度 (例如硅上的氧化物)，或者用反射法来确定非透明材料 (如金属) 的边界
用发射光谱（OES）实现较大样品或批量工艺的终点监测—— 监测刻蚀副产物或反应气体的消耗量的变化，以及用于腔室清洗的终点监测

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全球客户支持

牛津仪器致力于提供全方位、灵活且可靠的全球客户支持服务。我们将为您所拥有的系统在其整个运行周期中持续提供优质的服务。

远程诊断软件提供快速便捷的故障诊断及其解决方案
根据预算和实际需求制定个性化服务支持
在战略位置储备全球备件，以便快速响应

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新增: PTIQ软件

PTIQ是针对PlasmaPro和Ionfab工艺系统而开发的最新智能软件解决方案。

● 对响应系统出色的控制水平

● 最大化系统性能与工艺性能

● 多级别软件配置以匹配用户需求

● 全新的视觉布局与设计界面

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相关应用

失效分析制造光发射装置制造和表征生物微机电制造

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