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PTIQ简介

PTIQ是一款针对PlasmaPro和Atomfab工艺设备的最新智能软件解决方案。

  • 卓越的响应系统控制水平
  • 优化升级的系统与工艺性能
  • 友好的界面设计
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智能升级▪功能强化

PTIQ 是针对等离子技术系统的最新智能软件解决方案。为用户提供卓越的系统控制水平—赋予系统强大的调度,提供富有洞察力的报表工具,解锁新的可能性,不断提高工艺效率和动态工作流程。

PTIQ 软件可优化实验室和工厂的系统与工艺性能,同时提供不同级别的软件以满足设备需求。

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使用PTIQ的好处

人性化设计

  • 一目了然的设计界面使信息和控制更易于访问,最少的点击次数,最大限度地提高用户工作效率。
  • 系统组件可通过高级界面向工艺工程师展示,或通过 LabView 风格的功能图帮助维修工程师更好地理解系统架构。
  • 设计用于典型黄光工艺环境的高对比度配色方案。
  • 根据用户需求,设计时加入了触摸屏使用环境。

操作就绪&准确度

  • 系统工艺准备就绪的可视化指示有助于用户更早地避免操作问题,以便获得更好的工艺结果。基于最佳实践的内部专业知识,可为各种经验水平的用户提供帮助。
  • 对比菜单多次运行结果,确保工艺的可靠性和可重复性(例如清腔前后),加快工艺研发进度。
  • 毫秒精度和 1000点日志记录,可提高数据查询精度。
PTIQ screen layout

PTIQ用户界面


灵活性&可靠性

  • 符合 SEMI 95 人机界面标准,为您的操作员和工程师提供熟悉的交互体验,让他们更便捷地启动和运行系统。
  • 可定制在任意洁净室环境下的无差错、多用户操作方案。

软件特征

工艺菜单

  • 采用可编辑菜单作为我们的工艺数据表,易于使用、避免出错。
  • 菜单可设置为私密模式,以提高多用户环境中的安全性。
  • 运行菜单被链接到特定的版本,提高数据的可追溯性。
  • 包含标准检查菜单,例如用于检测泄漏速度和 MFC流速,从而能够在晶圆处理之前验证其性能,从而实现自动化干预,提高效率。
  • 现在可以按步骤定义公差值,从而对工艺流程进行更精确的控制。

权限&调度

  • 设备操作与用户账号关联,以便安全使用。
  • 将配置选项(例如压强单位、批处理选项)与用户账号相关联,用于精准匹配用户体验,进而提高生产力。
  • 强大的调度功能可实现多腔室中晶圆的并行操作(包括升高晶圆、静电吸附、晶圆预热),以提高产量。

软件选项

SECS/GEM 工厂主机链接

一个软件模块,通过 SECS/GEM 将牛津仪器的设备连接到工厂主机控制器,适用于自动化半导体厂。

AnalytIQs

PTIQ AnalytIQs 是一套分析工具,可最大限度地延长系统的正常运行时间。通过对数据的统计分析来更深入地理解和解释工艺记录的数据。进一步扩展了 PTIQ 日志查看功能,可用于跟踪和分析所有系统参数。

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升级选项

AnalytIQs Pro

一个高级模块,用于测量、分析和报告工艺过程中获取的数据。

DiagnostIQs

一套对自动维护系统和故障排除至关重要的工程师分析工具,可深入到电子元器件的核心来控制设备。牛津仪器的支持服务工程师也可以使用这些工具。

PTIQ Backup

该高级模块负责将菜单、配置和工艺运行数据定期备份到远程计算机。

可用于存档或根据需要将数据转存,便于进行外部处理。

升级您的PCx 

如果您目前使用的是PC2000 或 PC4500 操作软件,并且希望升级至 PTIQ,我们有多种路径可供选择。升级完成后,您将自动加入牛津仪器软件保障协议。

我们还有站点范围的 PTIQ 升级计划;您可以以折扣价升级整个站点,以确保软件支持服务的连续性。

常见问答

什么时候可获取该软件?

PTIQ 现已上市。

自 2020 年 2 月以来,我们的设备已开始更换成PTIQ系统,并将与其一同出厂。 目前,大约 75% 的产品线正在使用 PTIQ,这意味着 PlasmaPro 100、80 和 800 目前已配置新软件,新的ATOMFAB 系统也配置了PTIQ。在今年年底之前,它也将在我们的 Ionfab、Estrelas 和 Polaris 系统上线。



如果我有一台刻蚀和一台沉积系统,它们能使用相同的软件并以相同的方式运行吗?

是的。新软件的一个重要目标就是提供一致的外观和用户体验,并找到运行所有系统所需的通用操作。

不过,也存在一些显著差异,但它们与所涉及的特定技术有关。 这意味着,无论模块存在于同一集群系统中还是作为两个单独的模块并排使用,其软件都完全一样。

是否适用于集群系统?

PTIQ 支持我们的三种产品系列:开放式装载、单模块和集群系统。 这三种类型的系统都具有相同的外观和用户体验,并且以类似的方式运行。

PTIQ 是否兼容触摸屏?

我们设计的软件可通过触摸屏来控制,确保24寸触摸屏的活动区域至少有1cm2。虽然SEMI E95标准已不再有效,但它仍然有利于半导体主要设备的触摸屏操作界面。

PTIQ 是否兼容多显示器?

这在我们的短期规划框架中。最初我们就是在双显示器基础上构建这一软件。但目前尚未在软件中激活此功能,因为这需要更多的工作才能完成。

工艺参数(比如RF)可以通过循环操作将其从初始值到结束值进行分级设置吗?

此功能正在开发中,以应对我们正努力提供的更先进的深硅刻蚀工艺。它将在发布时对所有工艺模块可用,而不仅仅是Estrelas工具。

您有此软件的模拟器吗?可以安装在我们的个人计算机中进行测试或培训。

我们有一个模拟器,可用于此目的。比如,它可以很好地模拟硬件,包括一些简单的算法来模拟压力控制中涉及的物理。

PTIQ 软件演示

 

我们对本公司的最新软件非常有信心,希望您能看到它的实际效果。我们的现场演示网络视频现在可以索取观看了。

您将了解到PTIQ 的好处及其对您有何帮助。



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