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PTIQ 是针对等离子技术系统的最新智能软件解决方案。为用户提供卓越的系统控制水平—赋予系统强大的调度，提供富有洞察力的报表工具，解锁新的可能性，不断提高工艺效率和动态工作流程。
PTIQ 软件可优化实验室和工厂的系统与工艺性能，同时提供不同级别的软件以满足设备需求。
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PTIQ用户界面
一个软件模块，通过 SECS/GEM 将牛津仪器的设备连接到工厂主机控制器，适用于自动化半导体厂。
PTIQ AnalytIQs 是一套分析工具，可最大限度地延长系统的正常运行时间。通过对数据的统计分析来更深入地理解和解释工艺记录的数据。进一步扩展了 PTIQ 日志查看功能，可用于跟踪和分析所有系统参数。
下载手册一个高级模块，用于测量、分析和报告工艺过程中获取的数据。
一套对自动维护系统和故障排除至关重要的工程师分析工具，可深入到电子元器件的核心来控制设备。牛津仪器的支持服务工程师也可以使用这些工具。
该高级模块负责将菜单、配置和工艺运行数据定期备份到远程计算机。
可用于存档或根据需要将数据转存，便于进行外部处理。
如果您目前使用的是PC2000 或 PC4500 操作软件，并且希望升级至 PTIQ，我们有多种路径可供选择。升级完成后，您将自动加入牛津仪器软件保障协议。
我们还有站点范围的 PTIQ 升级计划；您可以以折扣价升级整个站点，以确保软件支持服务的连续性。
什么时候可获取该软件？
PTIQ 现已上市。
自 2020 年 2 月以来，我们的设备已开始更换成PTIQ系统，并将与其一同出厂。 目前，大约 75% 的产品线正在使用 PTIQ，这意味着 PlasmaPro 100、80 和 800 目前已配置新软件，新的ATOMFAB 系统也配置了PTIQ。在今年年底之前，它也将在我们的 Ionfab、Estrelas 和 Polaris 系统上线。
如果我有一台刻蚀和一台沉积系统，它们能使用相同的软件并以相同的方式运行吗？
是的。新软件的一个重要目标就是提供一致的外观和用户体验，并找到运行所有系统所需的通用操作。
不过，也存在一些显著差异，但它们与所涉及的特定技术有关。 这意味着，无论模块存在于同一集群系统中还是作为两个单独的模块并排使用，其软件都完全一样。
是否适用于集群系统？
PTIQ 支持我们的三种产品系列：开放式装载、单模块和集群系统。 这三种类型的系统都具有相同的外观和用户体验，并且以类似的方式运行。
PTIQ 是否兼容触摸屏？
我们设计的软件可通过触摸屏来控制，确保24寸触摸屏的活动区域至少有1cm2。虽然SEMI E95标准已不再有效，但它仍然有利于半导体主要设备的触摸屏操作界面。
PTIQ 是否兼容多显示器？
这在我们的短期规划框架中。最初我们就是在双显示器基础上构建这一软件。但目前尚未在软件中激活此功能，因为这需要更多的工作才能完成。
工艺参数（比如RF）可以通过循环操作将其从初始值到结束值进行分级设置吗？
此功能正在开发中，以应对我们正努力提供的更先进的深硅刻蚀工艺。它将在发布时对所有工艺模块可用，而不仅仅是Estrelas工具。
您有此软件的模拟器吗？可以安装在我们的个人计算机中进行测试或培训。
我们有一个模拟器，可用于此目的。比如，它可以很好地模拟硬件，包括一些简单的算法来模拟压力控制中涉及的物理。
我们对本公司的最新软件非常有信心，希望您能看到它的实际效果。我们的现场演示网络视频现在可以索取观看了。
您将了解到PTIQ 的好处及其对您有何帮助。
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