FlexAL

FlexAL系统可提供远程等离子体原子层沉积（ALD），这为纳米结构和器件的工程设计提供了一系列新的灵活性和可行性。

ALD产品家族涵盖的系列设备可以满足学术界、企业研发和小规模生产的多种需求。

牛津仪器有大量的工艺储备，并且还在不断开发新的工艺。我们为所有的ALD设备提供终身免费的、延续不断的工艺支持，我们还将为您提供关于开发新材料的建议，同时继续与您共享包括新工艺配方在内的新的ALD工艺进展。

气体/液体源前驱体模式上 - 一体化手套箱 —— 实时转换

一体化端口 - 允许添加实时椭偏仪测量工具

集群式配置 - 始终于真空下传送衬底

盒式对盒式操作 - 可提高产能以适于量产

机器手臂与片盒式 - 可处理100mm，150mm或200mm晶圆（无需额外设备进行晶圆交换）

所有系统都可以放置于超净间内或嵌入墙体 - 易于放置

自动化的200mm晶圆真空传送 - 工艺灵活性

下载ALD目录

牛津仪器致力于提供全方位、灵活且可靠的全球客户支持服务。我们将为您所拥有的系统在其整个运行周期中持续提供优质的服务。

● 远程诊断软件提供快速便捷的故障诊断及其解决方案

● 根据预算和实际需求制定个性化服务支持

● 在战略位置储备全球备件，以便快速响应

选项

FlexAL2D

FlexAL2D系统为纳米器件提供二维过渡金属二硫属化物（TMDCs）的ALD 生长，同时也能为其它二维材料的生长提供诸多有利条件。

二维材料生长

稳定的二维材料ALD生长工艺

可调控形态

气柜 —— 包含额外的气体管线，提供更大的灵活性

Logviewer 软件 ——数据记录软件允许实时绘图和事后分析

光学终点探测 —— 实现更好工艺结果的重要工具

涡轮分子真空泵 —— 提供泵送速度加快气体的流动速度

X20控制系统 —— 提供具有前瞻性的，灵活可靠的设备，增强系统“智能性”

双CM表开关 —— 具有通过单个压力控制阀使用两个不同范围电容压力计的能力