ALD
ALE
DSiE
IBD
Ion Beam
ICP Etching
ICPCVD
Nanoscale Growth
PECVD
RIE Etching
带刻蚀点的原子层刻蚀
牛津仪器公司(股票代码:OXIG)是化合物半导体领域先进的等离子体工艺解决方案的前沿供应商。我们正在Coherent公司主导的首个全自动化6英寸磷化铟(InP)晶圆光子器件制造中发挥关键作用。该项目由Coherent公司(纽约证券交易所代码:COHR)牵头开展,Coherent同时也是化合物半导体及高性能光网络解决方案领域的全球领先企业。
牛津仪器的原子层沉积(ALD)设备已安装在一家获奖的英国MicroLED提供商,以支持最新的消费者沉浸式现实产品和显示设备。
牛津仪器加快推动资格认证计划,2023年等离子抛光将迎来产能大提升
我们将SiC技术向前推进了一步。新的晶圆抛光技术所带来的更加清洁、环保,更具成本竞争力的市场优势,使我们拥有最强大的200毫米SiC晶圆处理能力。一旦将其与其他SiC特有工艺技术相结合,将为电动汽车和可再生能源技术革命奠定基础。