PTIQ 软件

常见问题 | PTIQ 软件

问：PTIQ 软件何时可用？

答：PTIQ 现已可用。自2020年2月以来，我们的PTIQ软件系统已持续完成了报价、制造和出厂。目前，我们大约75%的产品线都在使用PTIQ，这意味着PlasmaPro 100、80和800都将为新软件进行设置更新。除此之外，我们的新ATOMFAB系统也包括PTIQ。今年年底前，我们的Ionfab、Estrelas和Polaris系统也将采用PTIQ软件。

问：如果我有一套蚀刻系统和一套沉积系统，软件和工作方式是否相同？

答：是的。新软件开发的一个重要目标，就是提供和其他软件一致的外观和使用感受，以及和其他软件的相同操作系统。其中会有一些明显的操作差异，但都与所涉及的具体技术有关。这意味着，无论这些模块是存在于同一个集群配置中，还是作为两个独立的单模块工具并排存在，软件都将完全相同。

问：PTIQ兼容集群系统吗？

答：PTIQ支持我们的三个产品系列：开放式负载、单模块和集群系统。这三种系统的感受和外观都一样，运行方式也类似。

问：PTIQ兼容触摸屏吗？

答：我们在设计软件时考虑到将通过触摸屏进行控制，确保24英寸触摸屏至少有1平方厘米的活动区域。虽然SEMI E95标准已不再有效，但在制作半导体基建设备的触摸屏操作界面方面，它仍起作用。

问：PTIQ兼容多台显示器吗？

答：这一功能的实现在我们的短期计划内。我们的软件从一开始就支持双显示器，但目前还不能在软件中激活，因为这项功能还需要进一步完善。

问：参数（如射频）能否通过循环从起始值和终止值分级？

答：该功能正在开发过程中，以支持更先进的深硅蚀刻工艺。我们的实施方案发布后将适用于所有工艺模块，而不仅限于Estrelas工具。

问：贵公司是否有该软件的模拟器，我们可以将其安装在个人电脑上进行测试或培训？

答：是的，我们有一个模拟器/仿真器可用于此目的。例如，它可以很好地模拟硬件，包括一些简单的算法，以模拟压力控制所涉及的物理原理。

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