11 April | Matthias Mathiszik

牛津仪器等离子技术现场服务工程师的工作日常

"...我们始终如一地履行四项主要任务：实施预防性维护、解决问题、安装升级和新机台调试...”

作为牛津仪器等离子技术的欧洲、中东和非洲（EMEA）现场服务工程师团队负责人，我负责公司的六名现场服务工程师的工作安排。在牛津仪器工作的26年里，我熟知牛津仪器的全部高科技（机台）。我不喜欢将自己描述成专家，因为我的工作内容涵盖牛津仪器所有的刻蚀和沉积平台，但我确实对我们的离子束和ALD（原子层沉积）/ALE（原子层刻蚀）平台有着特别深入的了解。

我领导的服务工程师都是非常棒的专业人员，他们目标清晰、职责明确，那就是始终致力于解决客户遇到的问题，无论是在实验室、晶圆厂还是大批量生产现场。我们的团队拥有丰富的技术知识和经验，是为客户快速提供有效解决方案的宝贵人才。我可以非常自豪地说，我们始终如一地履行四项主要任务：实施预防性维护、解决问题、升级安装和新机台调试。

在本文中，我将重点介绍我们的解决问题工作。通过案例分析，了解我们的工程师及专家如何应对和解决现场不时（偶尔）出现的一些不可避免的设备运行问题。

问题解决案例研究

我们在日常解决问题的工作中通常面临多重挑战，尤其是来自客户的压力，他们通常要求对非常特定的设备运行问题进行有效、及时的处理和解决。当然，我们的工程师是始终如一地迎接这些挑战。这里要分享一个关于我们解决问题能力的极好的案例，说的是一位客户的设备遇到随机漏水的情况。当时在现场检查机台时，我发现在电极接头附近的系统冷却液输送冷却液管路中似乎出现了小针孔。更换管道管子后，我补充了冷却液来测试管路运行状态，并运行了一个等离子工艺。告知客户我所做的事情之后，将机台交付给客户运行正常工艺。大约四周后，客户称同样的问题再次出现。很明显，这个问题很少碰见，肯定是哪里出了不寻常的情况。因此，我决定将这种情况提交给我们的escalation团队。在第一次案例升级团队会议上，有人问了我正在运行哪些工艺、使用了哪种冷却液，并说明在过去2-3年中现场是否发生了任何异常情况等。我确实想不出有什么异常的情况，甚至把这个案例与其他拥有类似机台、运行类似工艺的客户进行了比对。事实上，这位客户有三台相同配置的机台，三个机台都是运行相同的工艺，但只有一个机台受到漏水影响。

因此，我们的escalation团队使用8D问题解决工具制定了多项行动方案，来快速确定潜在的根本原因。大家一致认为，问题可能来自于该机台使用单个冷水机来冷却分子泵、射频电源、AMU匹配器、腔室和电极这五个组件。

进一步的排查之后，我们的escalation团队发现漏水系统中的分子泵使用阀门来控制分子泵加热带，并迅速提出了一个理论，即具有高直流偏压的高功率刻蚀工艺将沿着冷却管道进行移动。这意味着分子泵加热阀将被关闭，导致电极附近的配件产生射频打火。为了证明这一理论，我们安装了第二台冷水机来控制电极温度，原来的冷水机则为分子泵、AMU、射频电源和腔室提供冷却。在现场升级后，我们将设备交付给客户，他们开始运行完整的晶圆流程。

经过一段时间的试用后，双方一致同意把这位客户的另外两台系统也升级为电极专用的冷水机。这三个机台随后都实现了96%的正常运行时间。客户对我们案例升级escalation团队的调查结果非常满意，它不仅解决了设备问题还提高了工艺稳定性。因此，这位客户又订购了新机台，以满足他们因设备性能改进而增加的需求以满足他们所增加产能的要求，而这是归功于改进设备的功劳。这个案例带来了双赢的局面，让我们的团队感到非常自豪、充满了成就感。