在此通知牛津仪器客户，我们的射频源供应商Advanced Energy已经宣布停产几款机组，我们将提供优质的替换产品。

Advanced Energy公司的Paramount射频源是牛津仪器高频（HF）RIE、ICP和溅射工艺的最新制造组件。它通过数字控制和相位同步方式为我们的工艺设备提供更高的可靠性和更优异的等离子体稳定性。