中级课程

等离子体设备培训课程

对您的等离子体系统的多个硬件块、软件诊断选项和电气原理图进行详细考察和探讨。

您将学会：

• 维护前对工具性能进行基准测试
• 执行基本程序，例如归位气体质谱仪（AMU）
• 使用服务模式辨识和隔离硬件问题

• 了解联锁方案并解读报警信号

离子束设备培训课程

详细检查和探索提高您对各种系统软件屏幕、组件和联锁方案的理解所需的基本技能。

您将学会：

• 进行基本的系统健康检查和性能基准测试
• 使用软件的源控制器、状态和错误代码
• 使用和维护离子源、栅格和中和器
• 了解故障诊断示例场景并正确解释警报信号

等离子体维护培训课程

您将学会：

• 对等离子体系统进行性能基准测试和健康检查
• 拆解和重新组装电极和源
• 识别主要硬件块和内部电气结构
• 理解联锁方案、PLC和RF上的理论单元
• 通过一系列预设的故障场景练习诊断技能

本课程可根据参与者的背景、经验和需求进行调整

离子束维护培训课程

您将学会：

• 对等离子体系统进行性能基准测试和健康检查
• 拆解和重新组装离子源、中和器和栅格，适用于离子束平台
• 使用离子束的机械标准安全电路
• 了解源状态控制器，以协助隔离系统硬件故障
• 通过一系列预设的故障场景练习诊断技能

根据参与者的需求和经验，可以添加额外的培训单元。