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培训课程

专业培训模块

工艺与操作员培训(各级别)

我们提供两个独立的培训模块,分别是“工艺”和“机械操作员”。工艺培训课程适用于寻求培养必要技能以提高对各种化学品的理解,包括优化和分析的应用工程师。机械操作员培训课程适用于寻求培养必要技能以重新教机器人、配置工具处理和完成晶圆尺寸更改的设备工程师。

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Handler training course at Oxford Instruments

工艺培训模块

适用于寻求培养更好地理解各种工艺流程,包括工艺优化和分析所需的关键技能的工艺工程师。

您将学到如何:

  • 工艺简介(通用或特定要求)
  • 工艺设置和优化(包括工艺趋势)
  • 工艺测量和分析技术
  • 终点培训(可选)
  • 腔室清洁(等离子体和机械清洁)
  • 使用日志查看器/活动浏览器识别系统健康趋势
  • 工艺故障排除
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操作员培训模块

本培训将在我们位于英国总部举行,您将学习Brooks MMX、Hine或EMS平台的相关知识。我们专为需要进行专业操作员培训的维护和设备工程师设计了这门课程。

您将学到如何:

  • 如何纠正晶圆放置错误并使用手控台重置处理程序
  • 执行基本设置程序
  • 更改晶圆尺寸
  • 电梯配置和设置
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其他培训课程


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