牛津仪器集团成员
作为仪器领域的专家，我们在为全球生产市场提供设备工艺解决方案方面积累了丰富的经验和专业知识，已经构建了全球最强大的工艺和能力库之一。
选择牛津仪器等离子体技术的工艺解决方案，您将获得专业应用专家团队的直接支持，以及涵盖多个平台、超过8000个配方的庞大配方库。共享这些知识有助于帮助您提供先进、稳定的解决方案，从而最大限度地提高设备性能。
工艺支持协议
为您原始的工艺验收（PA）规范中未包括的任何新工艺需求提供支持。
工艺维护协议
为您原始的工艺验收（PA）规范中包括的工艺提供支持。
时间和材料的工艺支持
一种根据您的具体需求量身定制的非正式选项。
工艺支持协议 |
工艺维护协议 |
时间和材料工艺支持 | |
协议期限 |
12-36个月 | ||
适用性 |
适用于寻求在原始工艺验收（PA）中未包含任何新工艺需求支持的客户 |
适用于寻求在原始工艺验收（PA）中所包含的工艺支持的客户 |
适用于寻求工艺支持，但不需要正式协议 的客户, 例如，可能包括解决工艺问题和从牛津仪器等离子体技术工艺库中获取配方起点的客户 |
技术支持服务台 |
正常办公时间：格林尼治标准时间（GMT）周一至周五上午8:00至下午5:00。 | ||
应用工程师支持 |
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工艺支持协议 |
工艺维护协议 |
时间和材料工艺支持 | |
协议期限 |
12-36个月 |
自订购单之日起3个月 | |
适用性 |
适用于寻求在原始工艺验收（PA）中未包含任何新工艺需求支持的客户 |
适用于寻求在原始工艺验收（PA）中所包含的工艺支持的客户 |
适用于寻求工艺支持，但不需要正式协议 的客户，例如，可能包括解决工艺问题和从牛津仪器等离子体技术工艺库中获取配方起点的客户 |
技术支持服务台 |
正常办公时间：格林尼治标准时间（GMT）周一至周五上午8:00至下午5:00。 | ||
应用工程师支持 |
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我们凭借数十年来在晶圆加工、工艺步骤和配方等方面积累的经验，开发出了有效的工艺解决方案。
通过加工经验，我们了解了各个工艺步骤和时间安排如何影响产量、所加工器件的质量和性能，以及如何通过对步骤和时间进行微小调整来优化工艺。我们的目标是利用这些经验值，与您分享我们丰富传承所提供的一些专业知识。
您将获得来自工艺稳定的可信合作伙伴的专业支持和指导。与专家合作还意味着您可以避免浪费宝贵的生产时间，通常在24小时内交付解决方案。
此外，无论您是希望通过新的配方/步骤扩展生产能力，还是要解决现有工艺中的挑战，您都可以获得安心的感觉，因为有专家来解决问题。
Expand knowledge and capabilities
Access to our recipe library
Access to a team of applications experts
Support and guidance in all recipes
牛津仪器从事科学领域的业务。我们的产品和服务以科学为基础，由科学家开发，并应用于世界各地的实验室。以下是一些关于我们的知识：
牛津仪器等离子体技术部门在市场上有40+的经验年限
100+拥有本科和研究生学位的专家（63位学士，22位硕士，23位博士）
在等离子体物理领域中有500+年的团队经验
我们配方库中以及多个牛津仪器系统中有8000+的配方数量
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