牛津仪器集团成员
扩展
Collapse
牛津仪器
应用
产品
新闻
市场活动
联络我们
投资者关系
招聘岗位
新闻
市场活动
联络我们
cn
en
jp
cn
en
jp
投资者关系
招聘岗位
关于我们
设备
新闻
活动
生产解决方案
研究解决方案
解决方案
二维材料
增强现实（AR）
生物器件
失效分析
HBLEDs
红外传感器
激光器
VCSELs
MEMS & 传感器
功率器件
量子技术
RF
工艺
等离子刻蚀
反应离子刻蚀
RIE-PE
ICP 刻蚀
等离子抛光
等离子沉积
PECVD
ICPCVD
CVD
离子束
离子束刻蚀
离子束沉积
原子层
原子层沉积
原子层刻蚀
原子层处理
材料
1D materials
2D materials
Al
2
O
3
AlGaN-GaN
AlN
a-Si
Cr
Co
Diamond
DLC
GaSb
GaAs/AlGaAs
GaN
GaP
HfN
HfO
2
InP/InGaAs/InAlAs
InSb
NbN
Ni
PMMA
Pt
Si
SiC
SiGe
SiNx
SiO
2
Ta
2
O
5
TiO
2
VO
x
ZnO
More materials...
设备
设备类型
Clusters for device production
Clusters for research
Load Lock
Open Load
Upgrades
ICP
PlasmaPro 80 ICP
PlasmaPro 100 Cobra
PlasmaPro 100 Polaris
PlasmaPro 100 Cobra GaAs VCSEL
RIE
PlasmaPro 80 RIE
PlasmaPro 100 RIE
PlasmaPro 800 RIE
Deep Si Etch
PlasmaPro 100 Estrelas
PECVD
PlasmaPro 80 PECVD
PlasmaPro 100 PECVD
PlasmaPro 800 PECVD
PlasmaPro 1000 Stratum
ICPCVD
PlasmaPro 80 ICPCVD
PlasmaPro 100 ICPCVD
ALD
FlexAL
PlasmaPro ASP
ALE
带刻蚀点的原子层刻蚀：PlasmaPro 100 ALE
离子束
Ionfab 300 IBE
Ionfab 300 IBD
纳米尺度生长
PlasmaPro 100 Nano
资料中心
博客
技术资讯
视频资料
网络课堂
云学院
白皮书
服务支持
服务与支持
服务协议
升级&软件
PTIQ 软件
备件
服务选项
培训
Teamviewer
淘汰零部件升级
联系我们
客户服务Blog & FAQS
联系我们
新闻
市场活动
联络我们
在线商城
Upgrades
气体舱升级
Home Page
Support
升级
气体舱
更灵活的气体舱升级
牛津仪器的气体舱可用于集成更多气体管道，方便用户根据应用需要变化适时添加气体管道，从而提供极大的灵活性。
优势
可容纳有毒和无毒气体
适用于所有牛津仪器的PlasmaPro系统（Ionfab工具升级需单独审计资格）
可容纳多达12条气体管道（具体取决于气体舱的配置）
安装快捷简便
可安装最新版本的质量流量控制器（MFC）
灵活性更好，使得每个处理室可使用更多不同类型的工艺
行业标准的MFC安装方式，即支持来自不同制造商的MFC
申请定价
姓名
*
邮箱
*
电话
地址/邮编
省份
*
Toggle Dropdown
选择一个省份
上海市
云南省
内蒙古自治区
北京市
台湾省
吉林省
四川省
天津市
宁夏回族自治区
安徽省
山东省
山西省
广东省
广西壮族自治区
新疆维吾尔自治区
江苏省
江西省
河北省
河南省
浙江省
海南省
湖北省
湖南省
澳门特别行政区
甘肃省
福建省
西藏自治区
贵州省
辽宁省
重庆市
陕西省
青海省
香港特别行政区
黑龙江省
部门/院系
应用
*
Toggle Dropdown
选择一个选项
2D Materials
Discretes
Discretes (GaN PE/RF)
Discretes (SiC PE)
Optoelectronics
Optoelectronics (3D Sensors)
Optoelectronics (GaAs/InP Datacom)
Optoelectronics (uLED & AR/VR)
Quantum
General R&D
Sensors (Bio)
Sensors (MEMS)
Others
其他应用
*
留言
公司/单位
*
用户类型
*
Toggle Dropdown
选择一个选项
R&D –Academia 学校及其他科研单位
R&D –Corporate 研发公司
R&D –Government 政府研发企业或单位
Device Manufacturing 制造商
产品系列
*
1D/2D materials growth(CVD)
ALD
ALE
DRIE
ICP Etch
Ion beam
PECVD/ICP CVD
RIE
其他
通过提交此表格，我同意牛津仪器将按照
隐私政策
中的描述处理我的数据
我们希望可以通过电子邮件向您发送我们产品或应用的最新资讯。您愿意接收吗？
是的，请随时通知我。
不，我对接收额外信息不感兴趣
联系我们
姓名
*
邮箱
*
电话
地址/邮编
省份
*
Toggle Dropdown
选择一个省份
上海市
云南省
内蒙古自治区
北京市
台湾省
吉林省
四川省
天津市
宁夏回族自治区
安徽省
山东省
山西省
广东省
广西壮族自治区
新疆维吾尔自治区
江苏省
江西省
河北省
河南省
浙江省
海南省
湖北省
湖南省
澳门特别行政区
甘肃省
福建省
西藏自治区
贵州省
辽宁省
重庆市
陕西省
青海省
香港特别行政区
黑龙江省
部门/院系
应用
*
Toggle Dropdown
选择一个选项
2D Materials
Discretes
Discretes (GaN PE/RF)
Discretes (SiC PE)
Optoelectronics
Optoelectronics (3D Sensors)
Optoelectronics (GaAs/InP Datacom)
Optoelectronics (uLED & AR/VR)
Quantum
General R&D
Sensors (Bio)
Sensors (MEMS)
Others
其他应用
*
留言
公司/单位
*
用户类型
*
Toggle Dropdown
选择一个选项
R&D –Academia 学校及其他科研单位
R&D –Corporate 研发公司
R&D –Government 政府研发企业或单位
Device Manufacturing 制造商
产品系列
*
1D/2D materials growth(CVD)
ALD
ALE
DRIE
ICP Etch
Ion beam
PECVD/ICP CVD
RIE
其他
通过提交此表格，我同意牛津仪器将按照
隐私政策
中的描述处理我的数据
我们希望可以通过电子邮件向您发送我们产品或应用的最新资讯。您愿意接收吗？
是的，请随时通知我。
不，我对接收额外信息不感兴趣
相关产品
OpAL
PlasmaPro 80 ICP
PlasmaPro 100 RIE
PlasmaPro 800 RIE
1000 Series Glass X-ray Tube - 90507
FlexAL
PlasmaPro 100 Nano
在新选项卡中打开
沪ICP备17031777号-1
公安机关备案号31010402003473
牛津仪器集团成员
公安机关备案号31010402003473
