软泵

该软抽真空升级能缓缓抽取真空室，旨在最大限度减少因快速气体流动干扰而导致基材上灰尘污染增加。

这对于预抽样品室和开放式样品处理室都很有价值，因为软抽真空能延长数分钟的抽真空时间。

特点和优势:

• 手动设定排气点（仅适用于开放式样品系统）
•  自动排气操作
• 可从前端软件选择慢速抽真空功能• 缓解快速气体流动引起的基材灰尘污染• 最大限度减少快速气体流动造成的不必要的基材运动
• 缓解快速气体流动引起的基材灰尘污染
• 最大限度减少快速气体流动造成的不必要的基材

若您已经升级到X20控制系统，可以下载新的LogViewer数据记录和分析软件 – 只需免费注册并完成一个简短的调查表即可获得下载链接。填写调查表时，您需要知晓您的系统编号及某些相关细节。