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培训课程

专业培训

针对牛津仪器所有的主要产品线,我们会提供综合的中高级维修课程。

根据课程议程编制之前开展的培训需求分析,我们针对参加人员的需要和体验量身定制了课程内容。

您可使用您自己的牛津仪器系统在我们的英国总部或您的办公所在地学习培训课程。

培训询价

培训的主要优势

为新用户和现有用户提供进行基础维护和故障诊断所需的知识,较大限度地提高系统正常运行时间和增强自我管理能力。

协助新用户快速正确地使用工具软件,较大限度地降低设备风险。

 

等离子平台

设备培训

详细检查和探索系统的各种硬件模块、软件诊断选项和电气原理图。

学习内容:

  • 保养前设置基准仪器性能
  • 如何运用基本技能,如AMU的返回
  • 如何通过服务模式识别和查出软件问题
  • 理解连锁方案并正确解读报警信号
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维修培训

通过使用PlasmaPro培训系统,在没有风险的环境中探索各种系统硬件和机械装配件

学习内容:

  • 如何设置基准仪器性能
  • 拆卸并重组电极和电源
  • 主要硬件模块和内部电气结构
  • 互锁方案、PLC和RF的工作原理
  • 学习如何使用日志查看器和诊断查看器识别故障硬件
  • 在一系列预先设置的故障情景中开展诊断技能实践
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高级培训

针对那些想要自行维护系统,并打算每年进行内部年度保养的人士,本课程将针对保养和设备工程师提供综合的指导。

学习内容:

  • 如何设置基准系统性能
  • 如何根据分步指令拆卸、清洁和维护系统
  • 必要技能(在实践环境下进行教学)

本培训还包括一整套与系统运行、硬件和电路图以及系统PM工具箱有关的培训演示文稿。

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新用户培训

本培训适用于团队新成员或对系统软件不熟悉的人士。

学习内容:

  • 如何在没有风险的环境中运行系统软件
  • 使用服务模式手动编写指示、检索晶片等技能
  • 正确理解并响应系统警报

本课程可做调整,以适应参与人员的背景、经验和需求。

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离子束平台

设备培训

详细检查和探索系统的各种硬件模块、软件诊断选项和电气原理图。

学习内容:

  • 维修前设置基准仪器性能
  • 如何运用基本技能,如AMU的返回
  • 如何通过服务模式识别和查出软件问题
  • 理解互锁方案并正确解读报警信号
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保养培训

通过使用Ionfab培训系统,在没有风险的环境中探索各种系统硬件和机械装配件

学习内容:

  • 如何设置基准仪器性能
  • 离子源、中和器和栅网的拆卸以及重新组装
  • 主要硬件模块和内部电气结构
  • 互锁方案、PLC和RF的理论单位
  • 学习如何使用日志查看器和诊断查看器识别故障硬件
  • 全面检查样品架
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高级培训

针对可自行维护系统,并打算每年进行内部年度保养的人士,本课程将针对保养和设备工程师提供综合的指导。

学习内容:

  • 如何设置基准系统性能
  • 如何根据分步指令拆卸、清洁和维护系统
  • 必要技能(在实践环境下进行教学)

本培训还包括一整套与系统运行、硬件和电路图,以及系统PM工具箱有关的培训演示文稿。

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新用户培训

本培训适用于团队新成员或对系统软件不熟悉的人士。

学习内容:

  • 如何在没有风险的环境中运行系统软件
  • 使用服务模式手动编写指示、检索晶片等技能
  • 正确理解并响应系统警报

本课程可做调整,以适应参与人员的背景、经验和需求。

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额外培训

操作员培训

本课程将在等离子技术总部进行,您将学习Brooks MMX、Hine或EMS平台。本课程非常适合保养和设备工程师。

学习内容:

  • 如何使用手柄控制器纠正晶片放置错误并重置处理流程
  • 基本设置程序
  • 晶片尺寸变动
  • 电梯配置和设置
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ALD培训

详细检查和探索系统各种硬件模块、软件诊断选项和电气原理图。其中还包括部分教室单元。

学习内容:

  • 设备和保养工程师必不可少的工具技能
  • 如何根据常见症状识别和纠正软件问题
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工艺培训

本课程适用于期望培养必备技能以便深入了解各种工艺(包括工艺优化和分析)的工艺工程师。

学习内容:

  • 工艺介绍(一般介绍或根据相应要求进行专门介绍)
  • 工艺设置和优化(包括工艺趋势)
  • 工艺结果测量和分析技术
  • 终点探测培训(可选)
  • 反应室清洁(等离子和机械清洁)
  • 识别系统健康趋势的日志查看器
  • 工艺故障排查
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