利用自动终点检测实现最佳工艺加工
自动终点检测器(EPD)利用与工艺集成的硬件来分析晶圆和/或系统腔室中发生的情况,以解读需要结束工艺或转移到下一工艺步骤的关键变化。
我们推出了这个博客,因为我们希望与客户分享我们的服务提供的所有支持的重要新闻和有价值的信息,包括系统升级选项。
我们的目标是每月发表新文章。我们的第一篇博客涉及备件管理的重要主题,还有几篇文章正在筹备中,包括关于过程解决方案、服务支持合同和PTIQ(我们的智能软件程序)等主题的文章。我们希望这个博客能成为一个能帮助你节省运营成本和优化系统正常运行时间的资讯来源。我们还将为您提供不断扩展的专业支持服务和升级包,以帮助我们的客户实现价值放大化。
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