升级 - 牛津仪器

升级的优势

我们的升级产品组合提供一系列功能和优势，旨在优化或增强您的系统功能、管理过时风险、节约资金和其他成本。升级可以提高生产率，降低使用成本和维护成本，并增强系统自动化和控制。单击此处了解有关升级优势的更多信息。

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	PECVD		RIE			ICP		Ion Beam	CVD	ALD
	PlasmaPro 800	PlasmaPro 100	PlasmaPro 80	PlasmaPro 800	PlasmaPro 100	PlasmaPro 80	PlasmaPro 100	Ionfab	Nanofab	FlexAL
先进能源Paramount发生器		✓					✓	✓
抗污染屏障								✓
自动终点检测系统	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓		✓	✓
自动压力控制	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
Comdel发生器	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
双CM表切换		✓			✓		✓			✓
气体舱	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
集成气体舱			✓
指示灯	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
LN2自动切换装置					✓
Logviewer软件	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
OEM过时	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
PTIQ软件	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
SECS GEM自动化	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
软泵	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
真空电容AMU	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
宽温度范围电极					✓		✓
Windows 10升级	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
X20控制系统	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓

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优异的响应式系统控制水平
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牛津仪器致力于提供全面、灵活和可靠的全球客户支持。我们将在工具的整个生命周期内提供优质的服务。

远程诊断软件提供快速、简便的故障诊断和解决方案
可根据预算和实际情况签订支持协议
位于战略位置的全球备件库，可实现快速响应
全球服务工程师提供预防性维护服务和支持
可提供各种升级服务，以改进工艺、提高生产率和降低工具使用成本

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